產(chǎn)品特性：
1、整套系統(tǒng)完全自主化生產(chǎn)，滿足用戶定制化需求
2、設計符合SEMI標準，具備良好的通用性和兼容性
3、內(nèi)部結構設計緊湊合理，支持客戶定制化需求
4、核心部件均為自主研發(fā)，穩(wěn)定性好，通用性強
5、標準化和模塊化設計，可兼容多種工況要求
產(chǎn)品參數(shù)：
結構尺寸 | 1480mm * 980mm * 2090mm |
潔凈等級 | Class 1 |
位置精度 | ±0.1m |
裝載端口 | 2—3個端口（可定制） |
Load Port | 卡塞式 |
末端執(zhí)行器 | 真空/邊緣夾持/伯努利非接觸式 |
適用晶圓材質 | 單晶硅/碳化硅 等 |
晶圓規(guī)格 | 100mm—300mm（4寸—12寸） |
機械臂 | 雙臂水平關節(jié)臂 |
機械臂重復精度 | ±0.1mm |
電源電壓 | 單相 AC200V ±10% ；50/60Hz ±5% |
消耗電流 | 4kVA (20A/200VAC) FFU |
干燥空氣 | 0.5Mpa ±10% |
應用領域 | 晶圓的移載與檢測 |
長按屏幕識別二維碼
打開手機掃描二維碼
