產品特性:
1、采用高精密氣浮導軌和直線電機驅動
2、納米級平面度和直線度
3、自研的多軸運動控制算法,實現高定位精度和重復精度
4、疊加式雙驅結構設計,承載能力強
5、高分辨率光柵尺信號反饋,實現50um納米級定位精度
6、多種規(guī)格型號可選,支持按需定制
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EFEM晶圓移載系統(tǒng)
晶圓移載 EFEM
晶圓夾持手指(末端執(zhí)行器)
Load Port晶圓裝載系統(tǒng)
長按屏幕識別二維碼
打開手機掃描二維碼
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