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產(chǎn)品特性:

1、采用大負(fù)載，高精度封閉式氣浮軸承

2、非接觸力知電機(jī)驅(qū)動(dòng)高動(dòng)態(tài)響應(yīng)

3、內(nèi)置高分辨率光柵尺傳感器信號(hào)反饋

4、25納米端跳 / 徑跳精度高、重復(fù)精度高

5、全空氣載氣浮壞形導(dǎo)軌，具有超平滑的速度軌跡

6、多種規(guī)格型號(hào)可選，支持按需定制