產(chǎn)品特性:
1、適用于6/8寸品圓的搬運(yùn)傳輸
2、自主化生產(chǎn),滿足用戶定制化需求
3、設(shè)計(jì)符合SEMI標(biāo)準(zhǔn),具備良好的通用性和兼容性
4、多種規(guī)格型號(hào)可選,支持按需定制
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B軸傳感器
EFEM晶圓移載系統(tǒng)
超精密大中空氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
真空吸盤
長(zhǎng)按屏幕識(shí)別二維碼
打開(kāi)手機(jī)掃描二維碼
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