產(chǎn)品特性:
1、采用大負(fù)載,高精度封閉式氣浮軸承
2、非接觸力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng),高動(dòng)態(tài)響應(yīng)
3、內(nèi)置高分辨率光柵尺傳感器信號(hào)反饋
4、25納米端跳/徑跳精度,重復(fù)精度高
5、全空氣預(yù)載氣浮環(huán)形導(dǎo)軌,具有超平滑的速度軌跡
6、多種規(guī)格型號(hào)可選,支持按需定制
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8寸SMIF EFEM晶圓移載
Load Port晶圓裝載系統(tǒng)
真空吸盤
納米運(yùn)動(dòng)控制
長(zhǎng)按屏幕識(shí)別二維碼
打開手機(jī)掃描二維碼
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