產(chǎn)品特性:
1、采用高精密氣浮導(dǎo)軌和弧線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
2、5軸納米精度機(jī)臺(tái) B C軸徑向跳動(dòng)25nm
3、自研的多軸運(yùn)動(dòng)控制算法,實(shí)現(xiàn)高定位精度和重復(fù)精度
4、高分辨率光柵尺信號(hào)反饋
5、多種規(guī)格型號(hào)可選,支持按需定制
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單軸精密位移臺(tái)
精密氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)
B軸傳感器
6/8寸 卡塞式 6Port EFEM移載
長(zhǎng)按屏幕識(shí)別二維碼
打開手機(jī)掃描二維碼
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