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2025
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精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)與氣浮技術(shù):湖州普利姆半導(dǎo)體如何以陶瓷叉與晶圓裝載系統(tǒng)重構(gòu)半導(dǎo)體制造精度
在半導(dǎo)體制造的微觀世界里,"精度"是最核心的競(jìng)爭(zhēng)維度——一片12英寸晶圓的制造需經(jīng)歷數(shù)百道工序,每道工序的定位誤差必須控制在微米甚至納米級(jí)。作為這一領(lǐng)域的關(guān)鍵支撐,精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的設(shè)計(jì)與創(chuàng)新正成為設(shè)備廠商的技術(shù)制高點(diǎn)。位于浙江湖州的普利姆半導(dǎo)體有限公司(以下簡(jiǎn)稱"普利姆"),憑借其在氣浮旋轉(zhuǎn)軸、陶瓷片叉及晶圓裝載系統(tǒng)領(lǐng)域的突破,正悄然改寫精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的技術(shù)邏輯。